干法刻蚀装置

被引：0

申请号：

CN202221433383.8

申请日：

2022-06-09

公开(公告)号：

CN218101166U

公开(公告)日：

2022-12-20

发明(设计)人：

单静静完颜俊雄豆海清

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京成创同维知识产权代理有限公司 11449

代理人：

蔡纯;张靖琳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-20	授权	授权

共 50 条

[1]

干法刻蚀装置 [P].

高国浩 .

中国专利 :CN218123350U ,2022-12-23

[2]

干法刻蚀机台及干法刻蚀方法 [P].

高鹏飞 ;

丁玎 .

中国专利 :CN109755159B ,2019-05-14

[3]

干法刻蚀方法 [P].

丁向前 ;

刘耀 ;

陈曦 ;

李梁梁 ;

白金超 ;

刘晓伟 .

中国专利 :CN103996621A ,2014-08-20

[4]

干法刻蚀方法 [P].

汪新学 ;

王伟军 .

中国专利 :CN102254812A ,2011-11-23

[5]

干法刻蚀装置 [P].

杨宏超 ;

金一诺 ;

张怀东 ;

王坚 ;

王晖 .

中国专利 :CN105304443A ,2016-02-03

[6]

干法刻蚀机台及干法刻蚀方法 [P].

李国强 ;

衣新燕 .

中国专利 :CN117096067B ,2024-03-01

[7]

干法刻蚀射频放电增强方法和干法刻蚀设备 [P].

张杰 .

中国专利 :CN113394091A ,2021-09-14

[8]

干法刻蚀装置和方法 [P].

高国浩 .

中国专利 :CN115410893A ,2022-11-29

[9]

基板干法刻蚀装置 [P].

罗浩 ;

张毅先 ;

任思雨 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN108063082A ,2018-05-22

[10]

基板干法刻蚀装置 [P].

罗浩 ;

张毅先 ;

任思雨 ;

苏君海 ;

李建华 .

中国专利 :CN108231520A ,2018-06-29

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