干法刻蚀装置和方法

被引：0

申请号：

CN202211202559.3

申请日：

2022-09-28

公开(公告)号：

CN115410893A

公开(公告)日：

2022-11-29

发明(设计)人：

高国浩

申请人：

申请人地址：

100000 北京市朝阳区南皋乡南皋村(北京市塑料三厂)

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

颜欢

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-29	公开	公开
2022-12-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20220928

共 50 条

[1]

干法刻蚀装置 [P].

高国浩 .

中国专利 :CN218123350U ,2022-12-23

[2]

干法刻蚀机台及干法刻蚀方法 [P].

高鹏飞 ;

丁玎 .

中国专利 :CN109755159B ,2019-05-14

[3]

干法刻蚀射频放电增强方法和干法刻蚀设备 [P].

张杰 .

中国专利 :CN113394091A ,2021-09-14

[4]

干法刻蚀方法 [P].

丁向前 ;

刘耀 ;

陈曦 ;

李梁梁 ;

白金超 ;

刘晓伟 .

中国专利 :CN103996621A ,2014-08-20

[5]

干法刻蚀方法 [P].

汪新学 ;

王伟军 .

中国专利 :CN102254812A ,2011-11-23

[6]

干法刻蚀装置 [P].

单静静 ;

完颜俊雄 ;

豆海清 .

中国专利 :CN218101166U ,2022-12-20

[7]

干法刻蚀机台及干法刻蚀方法 [P].

李国强 ;

衣新燕 .

中国专利 :CN117096067B ,2024-03-01

[8]

干法刻蚀方法 [P].

吴智勇 ;

邱华军 .

中国专利 :CN102693911A ,2012-09-26

[9]

干法刻蚀方法 [P].

吴贤丰 ;

延宇豪 ;

邱山峰 ;

孙磊 .

中国专利 :CN119038485A ,2024-11-29

[10]

干法刻蚀方法 [P].

吴智勇 ;

荆泉 ;

陈力钧 .

中国专利 :CN109727857B ,2019-05-07

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