基板量测系统及其方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110209119.X

申请日：

2021-02-24

公开(公告)号：

CN113390894A

公开(公告)日：

2021-09-14

发明(设计)人：

邹嘉骏林伯聪黄冠勋张勋豪

申请人：

申请人地址：

中国台湾新北市中和区连城路268号10楼之1

IPC主分类号：

G01N21956

IPC分类号：

G01N2188 G01B1124 G01B1106 G01B1102 G06T700

代理机构：

北京维澳专利代理有限公司 11252

代理人：

王立民;曾晨

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-14	公开	公开
2021-10-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/956 申请日:20210224

共 50 条

[1]

双光源基板图像量测系统及其方法 [P].

邹嘉骏 ;

林伯聪 ;

黄冠勋 ;

张勋豪 .

中国专利 :CN120232856A ,2025-07-01

[2]

用于基板的线路量测系统 [P].

邹嘉骏 ;

林伯聪 ;

黄冠勋 ;

张勋豪 .

中国专利 :CN113884508B ,2024-05-03

[3]

用于基板的线路量测系统 [P].

邹嘉骏 ;

林伯聪 ;

黄冠勋 ;

张勋豪 .

中国专利 :CN113884508A ,2022-01-04

[4]

光学量测系统、光学量测装置及其量测方法 [P].

吴世傑 ;

林典瑩 ;

林辰泰 ;

庄世昌 .

中国专利 :CN109282750B ,2019-01-29

[5]

取样量测系统及其取样量测方法 [P].

陈彧 .

中国专利 :CN106952842A ,2017-07-14

[6]

基于荧光的基板图像量测系统及其方法 [P].

邹嘉骏 ;

林伯聪 ;

黄冠勋 ;

张勋豪 .

中国专利 :CN120232853A ,2025-07-01

[7]

量测系统、量测方法及其计量量测装置 [P].

刘颖昌 ;

戴君如 .

中国专利 :CN102401880A ,2012-04-04

[8]

自动基板切片制作方法、量测方法、制作系统及量测系统 [P].

邹嘉骏 ;

王人杰 ;

林伯聪 ;

赖明正 .

中国专利 :CN119618762A ,2025-03-14

[9]

量测系统及其量测参数设置方法 [P].

孙晓辉 .

中国专利 :CN109903708A ,2019-06-18

[10]

脉脊点量测系统及其量测方法 [P].

吴贤财 ;

何金山 ;

黄义智 .

中国专利 :CN1927112A ,2007-03-14

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