一种离子源磁场分布结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510966434.1

申请日：

2015-12-22

公开(公告)号：

CN105441889A

公开(公告)日：

2016-03-30

发明(设计)人：

刘野刘晓华马槽伟

申请人：

申请人地址：

116113 辽宁省大连市甘井子区大连湾振兴路200号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

H01J3734

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-30	公开	公开
2019-04-05	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/35 申请公布日:20160330
2016-04-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101657715064 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2015109664341 申请日:20151222

共 50 条

[1]

一种离子源磁场分布结构 [P].

刘野 ;

刘晓华 ;

马槽伟 .

中国专利 :CN205590789U ,2016-09-21

[2]

离子源水冷结构及离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

吴秋生 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN213936110U ,2021-08-10

[3]

一种磁场可调式离子源 [P].

陈晓东 .

中国专利 :CN210223942U ,2020-03-31

[4]

一种离子源阳极水冷结构 [P].

徐鸣 ;

杜楠 ;

罗伟 ;

安建昊 ;

唐欢欢 .

中国专利 :CN221529865U ,2024-08-13

[5]

一种离子源磁场发生装置及离子注入装置 [P].

曹建伟 ;

沈文杰 ;

沈加富 ;

李杰 ;

汤承伟 ;

彭建波 ;

佘垒 ;

吴尽 .

中国专利 :CN223712706U ,2025-12-23

[6]

一种微波离子源 [P].

崔保群 ;

蒋渭生 ;

唐兵 ;

马瑞刚 ;

马鹰俊 ;

陈立华 ;

黄青华 .

中国专利 :CN103426706A ,2013-12-04

[7]

微波离子源 [P].

崔保群 ;

蒋渭生 ;

李立强 ;

马鹰俊 ;

姜冲 ;

唐兵 ;

马瑞刚 .

中国专利 :CN100580858C ,2007-04-11

[8]

一种智能电弧离子源 [P].

蔺增 ;

乔宏 ;

王书豪 ;

辛玉富 .

中国专利 :CN107385397B ,2017-11-24

[9]

一种新型霍尔离子源磁轴向磁场调节器 [P].

薛照明 ;

李围红 ;

薛海 .

中国专利 :CN208142130U ,2018-11-23

[10]

新型霍尔离子源 [P].

汤兆胜 ;

孙红俊 .

中国专利 :CN202268322U ,2012-06-06

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