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处理液供应单元以及基板处理设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610547893.0
申请日：
2016-07-12
公开(公告)号：
CN106356319A
公开(公告)日：
2017-01-25
发明(设计)人：
吴来泽
李铉优
申请人：
申请人地址：
韩国忠淸南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：
赵莎
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-01-25 | 公开 | 公开 |
| 2017-03-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101705790515 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2016105478930 申请日:20160712 |
| 2019-06-21 | 授权 | 授权 |