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一种多晶硅片去油墨用夹具
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810507793.4
申请日：
2018-05-24
公开(公告)号：
CN108711559A
公开(公告)日：
2018-10-26
发明(设计)人：
汪伟华
申请人：
申请人地址：
313299 浙江省湖州市德清县武康镇长虹中街339号
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
H01L2167
H01L3118
代理机构：
杭州赛科专利代理事务所(普通合伙) 33230
代理人：
陈俊波
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-10-26 | 公开 | 公开 |
| 2019-03-12 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L 21/687 申请公布日:20181026 |
| 2018-11-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20180524 |