可光学对准的晶圆定位手臂及晶圆打标机

被引：0

申请号：

CN202222478206.8

申请日：

2022-09-19

公开(公告)号：

CN218215253U

公开(公告)日：

2023-01-03

发明(设计)人：

游盛天

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区凤里街166号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2168 H01L2167

代理机构：

苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235

代理人：

段友强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-03	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆对准臂及晶圆对准装置 [P].

杨轩毅 ;

任瑞 ;

刘普然 .

中国专利 :CN217485421U ,2022-09-23

[2]

晶圆打标机 [P].

黄永忠 ;

王晓峰 ;

何刘 ;

陈永智 ;

王德友 ;

潘冬 ;

付志良 .

中国专利 :CN309071746S ,2025-01-14

[3]

晶圆打标机构 [P].

邹武兵 ;

张德安 ;

禹刚 .

中国专利 :CN206732367U ,2017-12-12

[4]

晶圆背面打标机的晶圆方向检测装置 [P].

陈有章 ;

林宜龙 ;

唐召来 ;

张松岭 ;

冀守恒 .

中国专利 :CN201075382Y ,2008-06-18

[5]

晶圆背面打标机的晶圆进出闸门装置 [P].

陈有章 ;

林宜龙 ;

唐召来 ;

张松岭 ;

冀守恒 .

中国专利 :CN201060857Y ,2008-05-14

[6]

晶圆打标方法、装置及晶圆打标机 [P].

张晓东 ;

蒋邦邦 .

中国专利 :CN120221433A ,2025-06-27

[7]

吸盘及晶圆手臂 [P].

王明阳 .

中国专利 :CN218241799U ,2023-01-06

[8]

晶圆打标机构 [P].

邹武兵 ;

张德安 ;

禹刚 .

中国专利 :CN106583942B ,2017-04-26

[9]

晶圆预对准装置 [P].

郎叶威 ;

蒋志韬 ;

冯金武 .

中国专利 :CN222673000U ,2025-03-25

[10]

晶圆对准装置 [P].

朱松 ;

万先进 ;

张怀东 ;

钱宇强 ;

边逸军 .

中国专利 :CN221379327U ,2024-07-19

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