一种以金属玻璃为光刻胶的光刻方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210545734.9

申请日：

2012-12-14

公开(公告)号：

CN103048888B

公开(公告)日：

2013-04-17

发明(设计)人：

缪向水曾笔鉴李震黄君竹

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

华中科技大学专利中心 42201

代理人：

李智

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101457135962 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012105457349 申请日:20121214
2013-04-17	公开	公开
2015-01-28	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻胶及光刻方法 [P].

袁华 ;

黄永发 ;

杨尚勇 ;

胡展源 .

中国专利 :CN110501873A ,2019-11-26

[2]

光刻胶、光刻胶组合产品及光刻胶图案化的方法 [P].

徐宏 ;

何向明 ;

刘天棋 .

中国专利 :CN115903376B ,2025-01-14

[3]

一种光刻胶剥离系统及光刻胶剥离方法 [P].

郭昭 ;

李炳天 ;

王振 ;

邓治国 ;

任志明 ;

晏熙 ;

黄超 ;

刘杰 ;

郭荣波 ;

李显杰 .

中国专利 :CN111142342A ,2020-05-12

[4]

一种光刻胶图案化方法及光刻胶剥离方法 [P].

王科 .

中国专利 :CN113495430A ,2021-10-12

[5]

光刻胶排放系统及光刻胶排放方法 [P].

郑义强 .

中国专利 :CN111090219A ,2020-05-01

[6]

一种光刻胶树脂、制备方法及光刻胶 [P].

纪学顺 ;

蒋志强 ;

马吉全 .

中国专利 :CN121135937A ,2025-12-16

[7]

光刻胶去除方法及光刻胶重制方法 [P].

邱靖尧 ;

谢玟茜 ;

刘立尧 ;

胡展源 .

中国专利 :CN110581065A ,2019-12-17

[8]

一种光刻胶组合物及光刻胶 [P].

赵明 ;

张晶晶 ;

刘瑶 ;

李琳 ;

胡登峰 .

中国专利 :CN114415469A ,2022-04-29

[9]

光刻胶涂布系统以及更换光刻胶的方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

刘金彪 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN111897187A ,2020-11-06

[10]

以气相沉积来沉积的光刻胶及此光刻胶的制造与光刻系统 [P].

蒂莫西·米凯尔松 ;

蒂莫西·W·韦德曼 ;

巴里·李·金 ;

马耶德·A·福阿德 ;

保罗·迪顿 .

中国专利 :CN105074572A ,2015-11-18

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