一种用于蓝宝石化学机械平坦化的抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410811763.4

申请日：

2014-12-22

公开(公告)号：

CN104513628A

公开(公告)日：

2015-04-15

发明(设计)人：

潘国顺徐莉邹春莉史晓磊周艳罗桂海龚桦

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区北京100084-82信箱

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

代理机构：

深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311

代理人：

哈达

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-05-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101609209977 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2014108117634 申请日:20141222
2015-04-15	公开	公开
2017-06-30	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754614310 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2014108117634 申请公布日:20150415

共 50 条

[1]

一种蓝宝石化学机械抛光液 [P].

徐志国 .

中国专利 :CN107011804A ,2017-08-04

[2]

适用于蓝宝石抛光的化学机械抛光液 [P].

张泽芳 ;

彭诗月 .

中国专利 :CN108997940A ,2018-12-14

[3]

蓝宝石化学机械抛光液及其应用 [P].

崔晓坤 ;

卞鹏程 .

中国专利 :CN113755099B ,2021-12-07

[4]

一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液及其应用 [P].

张泽芳 ;

刘卫丽 ;

宋志棠 .

中国专利 :CN102585705B ,2012-07-18

[5]

一种蓝宝石化学机械抛光液及其制备方法 [P].

涂洛 ;

林方 .

中国专利 :CN108949034B ,2018-12-07

[6]

用于化学机械平坦化的多步抛光液 [P].

刘振东 ;

J·匡西 ;

R·E·施密特 ;

T·M·托马斯 .

中国专利 :CN1324105C ,2006-01-18

[7]

一种A向蓝宝石化学机械抛光用抛光液及其制备方法 [P].

倪自丰 ;

白亚雯 ;

陈国美 ;

滕康 .

中国专利 :CN107189693A ,2017-09-22

[8]

一种用于蓝宝石衬底的抛光液 [P].

朱小华 ;

巩强 .

中国专利 :CN103450812A ,2013-12-18

[9]

一种蓝宝石抛光液 [P].

秦俊 ;

宋述远 ;

蔡金荣 .

中国专利 :CN110591563A ,2019-12-20

[10]

一种用于LED用蓝宝石衬底片精密抛光的抛光液 [P].

张学炎 .

中国专利 :CN103184010A ,2013-07-03

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