一种A向蓝宝石化学机械抛光用抛光液及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710334496.X

申请日：

2017-05-12

公开(公告)号：

CN107189693A

公开(公告)日：

2017-09-22

发明(设计)人：

倪自丰白亚雯陈国美滕康

申请人：

申请人地址：

214122 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

代理机构：

无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104

代理人：

殷红梅;张仕婷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-28	授权	授权
2017-10-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20170512
2017-09-22	公开	公开

共 50 条

[1]

蓝宝石化学机械抛光液及其应用 [P].

崔晓坤 ;

卞鹏程 .

中国专利 :CN113755099B ,2021-12-07

[2]

A向蓝宝石抛光用抛光液及其制备方法 [P].

周群飞 ;

饶桥兵 ;

杨水莲 .

中国专利 :CN105385357A ,2016-03-09

[3]

一种蓝宝石化学机械抛光液及其制备方法 [P].

涂洛 ;

林方 .

中国专利 :CN108949034B ,2018-12-07

[4]

一种蓝宝石衬底化学机械抛光方法 [P].

张振宇 ;

许超 ;

王林海 ;

孟凡宁 .

中国专利 :CN110076682A ,2019-08-02

[5]

一种化学机械抛光用纳米抛光液 [P].

张楷亮 ;

冯玉林 ;

王芳 ;

任君 ;

孙阔 .

中国专利 :CN103146307B ,2013-06-12

[6]

一种蓝宝石化学机械抛光液 [P].

徐志国 .

中国专利 :CN107011804A ,2017-08-04

[7]

一种蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法及抛光液 [P].

张楷亮 ;

张涛峰 ;

王芳 ;

任君 ;

苗银萍 .

中国专利 :CN102343547A ,2012-02-08

[8]

硬脆材料化学机械抛光用无磨料抛光液 [P].

李军 ;

朱永伟 ;

左敦稳 ;

张彦 ;

高平 ;

蒋毕亮 ;

杨涛 ;

周睿洋 ;

王军 .

中国专利 :CN101864247A ,2010-10-20

[9]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141A ,2024-10-22

[10]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141B ,2025-04-01

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