硬脆材料化学机械抛光用无磨料抛光液

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201010231307.4
申请日
2010-07-20
公开(公告)号
CN101864247A
公开(公告)日
2010-10-20
发明(设计)人
李军 朱永伟 左敦稳 张彦 高平 蒋毕亮 杨涛 周睿洋 王军
申请人
申请人地址
210016 江苏省南京市白下区御道街29号
IPC主分类号
C09G104
IPC分类号
代理机构
南京天华专利代理有限责任公司 32218
代理人
瞿网兰
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
软脆易潮解晶体化学机械抛光用无水无磨料抛光液 [P]. 
李军 ;
朱永伟 ;
左敦稳 ;
李标 ;
夏磊 ;
孙玉利 ;
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罗海军 .
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[2]
化学机械抛光液 [P]. 
赵铁均 ;
张延风 ;
杜新蕊 .
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[3]
一种化学机械抛光用纳米抛光液 [P]. 
张楷亮 ;
冯玉林 ;
王芳 ;
任君 ;
孙阔 .
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[4]
化学机械抛光液 [P]. 
赵铁均 ;
张延风 ;
杜新蕊 .
中国专利 :CN118813141B ,2025-04-01
[5]
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[6]
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王良咏 ;
宋志棠 ;
刘卫丽 ;
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侯军 ;
吕冬 ;
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[8]
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[9]
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白亚雯 ;
陈国美 ;
滕康 .
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[10]
一种化学机械抛光用液 [P]. 
赵明贵 .
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