一种蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法及抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110320294.2

申请日：

2011-10-20

公开(公告)号：

CN102343547A

公开(公告)日：

2012-02-08

发明(设计)人：

张楷亮张涛峰王芳任君苗银萍

申请人：

申请人地址：

300384 天津市南开区红旗南路延长线天津理工大学主校区

IPC主分类号：

B24B3700

IPC分类号：

C09G102

代理机构：

天津佳盟知识产权代理有限公司 12002

代理人：

侯力

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-02-19	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101693091059 IPC(主分类):B24B 37/00 专利申请号:2011103202942 申请公布日:20120208
2012-02-08	公开	公开
2012-03-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101208128018 IPC(主分类):B24B 37/00 专利申请号:2011103202942 申请日:20111020

共 50 条

[1]

一种蓝宝石衬底化学机械抛光方法 [P].

张振宇 ;

许超 ;

王林海 ;

孟凡宁 .

中国专利 :CN110076682A ,2019-08-02

[2]

蓝宝石化学机械抛光液及其应用 [P].

崔晓坤 ;

卞鹏程 .

中国专利 :CN113755099B ,2021-12-07

[3]

一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液及其应用 [P].

张泽芳 ;

刘卫丽 ;

宋志棠 .

中国专利 :CN102585705B ,2012-07-18

[4]

一种蓝宝石衬底的高效混合磨料化学机械抛光液 [P].

张振宇 ;

谢文祥 ;

陈宇 ;

郜培丽 ;

苏宏久 ;

王树东 .

中国专利 :CN110511679A ,2019-11-29

[5]

一种A向蓝宝石化学机械抛光用抛光液及其制备方法 [P].

倪自丰 ;

白亚雯 ;

陈国美 ;

滕康 .

中国专利 :CN107189693A ,2017-09-22

[6]

一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液 [P].

王良咏 ;

张楷亮 ;

宋志棠 ;

封松林 .

中国专利 :CN100478412C ,2007-08-15

[7]

蓝宝石衬底材料抛光液及其制备方法 [P].

刘玉岭 ;

牛新环 .

中国专利 :CN1858137A ,2006-11-08

[8]

一种超声辅助化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置及方法 [P].

路新春 ;

许文虎 ;

潘国顺 ;

雷源忠 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN101716745B ,2010-06-02

[9]

一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置 [P].

许文虎 ;

程远瑶 ;

钟敏 ;

袁任江 ;

蒋建中 .

中国专利 :CN210997815U ,2020-07-14

[10]

一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置 [P].

许文虎 ;

程远瑶 ;

钟敏 ;

袁任江 ;

蒋建中 .

中国专利 :CN110587387A ,2019-12-20

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