一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710037163.7

申请日：

2007-02-06

公开(公告)号：

CN100478412C

公开(公告)日：

2007-08-15

发明(设计)人：

王良咏张楷亮宋志棠封松林

申请人：

申请人地址：

200050上海市长宁区长宁路865号

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

B28D500

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

潘振甦

法律状态：

公开

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

一种蓝宝石衬底化学机械抛光方法 [P].

张振宇 ;

许超 ;

王林海 ;

孟凡宁 .

中国专利 :CN110076682A ,2019-08-02

[2]

一种蓝宝石衬底片浸没式化学机械抛光方法 [P].

秦光临 ;

吴明山 ;

王禄宝 .

中国专利 :CN105014520B ,2015-11-04

[3]

一种蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法及抛光液 [P].

张楷亮 ;

张涛峰 ;

王芳 ;

任君 ;

苗银萍 .

中国专利 :CN102343547A ,2012-02-08

[4]

化学机械抛光浆液 [P].

杨逸涵 ;

刘文成 ;

何明彻 ;

陆明辉 ;

张松源 .

中国专利 :CN105862044A ,2016-08-17

[5]

一种适用于蓝宝石A面的化学机械抛光组合物 [P].

何彦刚 ;

牛新环 ;

孙鸣 ;

陈国栋 ;

张玉峰 ;

周建伟 ;

刘玉岭 .

中国专利 :CN104449399A ,2015-03-25

[6]

一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液及其应用 [P].

张泽芳 ;

刘卫丽 ;

宋志棠 .

中国专利 :CN102585705B ,2012-07-18

[7]

化学机械抛光浆液 [P].

土屋泰章 ;

泰地稔二 ;

板仓哲之 ;

樱井伸 ;

青柳健一 ;

伊藤友行 .

中国专利 :CN1524918A ,2004-09-01

[8]

蓝宝石化学机械抛光液及其应用 [P].

崔晓坤 ;

卞鹏程 .

中国专利 :CN113755099B ,2021-12-07

[9]

一种A向蓝宝石化学机械抛光用抛光液及其制备方法 [P].

倪自丰 ;

白亚雯 ;

陈国美 ;

滕康 .

中国专利 :CN107189693A ,2017-09-22

[10]

一种超声辅助化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置及方法 [P].

路新春 ;

许文虎 ;

潘国顺 ;

雷源忠 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN101716745B ,2010-06-02

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-08-15	公开	公开
2017-05-24	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101751759182 IPC(主分类):C09G 1/02 专利号:ZL2007100371637 登记生效日:20170503 变更事项:专利权人变更前权利人:上海新安纳电子科技有限公司变更后权利人:浙江新创纳电子科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:201506 上海市金山工业区天工路285弄6号变更后权利人:314406 浙江省海宁市斜桥镇云星路138号
2009-04-15	授权	授权
2007-10-10	实质审查的生效	实质审查的生效
2023-01-13	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C09G 1/02 变更事项:专利权人变更前:浙江新创纳电子科技有限公司变更后:浙江新创纳电子科技有限公司变更事项:地址变更前:314406 浙江省海宁市斜桥镇云星路138号变更后:314406 浙江省嘉兴市海宁市斜桥镇云星路138号
2012-06-20	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101383729941 IPC(主分类):C09G 1/02 专利号:ZL2007100371637 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所变更后权利人:上海新安纳电子科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:200050 上海市长宁区长宁路865号变更后权利人:201506 上海市金山工业区天工路285弄6号登记生效日:20120514