一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110433696.3

申请日：

2011-12-21

公开(公告)号：

CN102585705B

公开(公告)日：

2012-07-18

发明(设计)人：

张泽芳刘卫丽宋志棠

申请人：

申请人地址：

201506 上海市金山区金山工业区天工路285弄2幢

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

许亦琳;余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-02-05	授权	授权
2012-11-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101346518608 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2011104336963 申请日:20111221
2012-07-18	公开	公开

共 50 条

[1]

蓝宝石化学机械抛光液及其应用 [P].

崔晓坤 ;

卞鹏程 .

中国专利 :CN113755099B ,2021-12-07

[2]

适用于蓝宝石抛光的化学机械抛光液 [P].

张泽芳 ;

彭诗月 .

中国专利 :CN108997940A ,2018-12-14

[3]

一种蓝宝石衬底的高效混合磨料化学机械抛光液 [P].

张振宇 ;

谢文祥 ;

陈宇 ;

郜培丽 ;

苏宏久 ;

王树东 .

中国专利 :CN110511679A ,2019-11-29

[4]

一种蓝宝石衬底化学机械抛光方法 [P].

张振宇 ;

许超 ;

王林海 ;

孟凡宁 .

中国专利 :CN110076682A ,2019-08-02

[5]

一种用于蓝宝石衬底的抛光液 [P].

朱小华 ;

巩强 .

中国专利 :CN103450812A ,2013-12-18

[6]

一种蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法及抛光液 [P].

张楷亮 ;

张涛峰 ;

王芳 ;

任君 ;

苗银萍 .

中国专利 :CN102343547A ,2012-02-08

[7]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141A ,2024-10-22

[8]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141B ,2025-04-01

[9]

一种A向蓝宝石化学机械抛光用抛光液及其制备方法 [P].

倪自丰 ;

白亚雯 ;

陈国美 ;

滕康 .

中国专利 :CN107189693A ,2017-09-22

[10]

一种硅片化学机械抛光液及其应用 [P].

卞鹏程 ;

卫旻嵩 ;

崔晓坤 ;

王庆伟 .

中国专利 :CN113789126B ,2021-12-14

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