一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910546739.5

申请日：

2019-06-24

公开(公告)号：

CN110587387A

公开(公告)日：

2019-12-20

发明(设计)人：

许文虎程远瑶钟敏袁任江蒋建中

申请人：

申请人地址：

330000 江西省南昌市东湖区红谷滩新区学府大道999号

IPC主分类号：

B24B104

IPC分类号：

B24B3711 B24B3734 B24B4722 B24B5702

代理机构：

南昌青远专利代理事务所(普通合伙) 36123

代理人：

刘爱芳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 1/04 申请日:20190624
2019-12-20	公开	公开

共 50 条

[1]

一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置 [P].

许文虎 ;

程远瑶 ;

钟敏 ;

袁任江 ;

蒋建中 .

中国专利 :CN210997815U ,2020-07-14

[2]

一种超声辅助化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置及方法 [P].

路新春 ;

许文虎 ;

潘国顺 ;

雷源忠 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN101716745B ,2010-06-02

[3]

一种蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法及抛光液 [P].

张楷亮 ;

张涛峰 ;

王芳 ;

任君 ;

苗银萍 .

中国专利 :CN102343547A ,2012-02-08

[4]

一种蓝宝石衬底化学机械抛光方法 [P].

张振宇 ;

许超 ;

王林海 ;

孟凡宁 .

中国专利 :CN110076682A ,2019-08-02

[5]

一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液 [P].

王良咏 ;

张楷亮 ;

宋志棠 ;

封松林 .

中国专利 :CN100478412C ,2007-08-15

[6]

电化学机械抛光装置 [P].

倪建明 .

中国专利 :CN105710761A ,2016-06-29

[7]

一种蓝宝石衬底片浸没式化学机械抛光方法 [P].

秦光临 ;

吴明山 ;

王禄宝 .

中国专利 :CN105014520B ,2015-11-04

[8]

用于电化学机械抛光的抛光垫 [P].

J·G·埃米恩 ;

D·B·詹姆斯 .

中国专利 :CN100385631C ,2005-11-30

[9]

用于电化学机械抛光的抛光垫 [P].

罗兰·K·塞维利亚 .

中国专利 :CN1809445A ,2006-07-26

[10]

用于电化学机械抛光的抛光垫 [P].

李·M.·库克 ;

戴维·B.·詹姆斯 ;

约翰·V.·H·罗伯兹 .

中国专利 :CN100347825C ,2005-09-07

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