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一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910546739.5
申请日：
2019-06-24
公开(公告)号：
CN110587387A
公开(公告)日：
2019-12-20
发明(设计)人：
许文虎 程远瑶 钟敏 袁任江 蒋建中
申请人：
申请人地址：
330000 江西省南昌市东湖区红谷滩新区学府大道999号
IPC主分类号：
B24B104
IPC分类号：
B24B3711 B24B3734 B24B4722 B24B5702
代理机构：
南昌青远专利代理事务所(普通合伙) 36123
代理人：
刘爱芳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-01-14 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 1/04 申请日:20190624
2019-12-20 公开 公开
共 50 条
[21]
一种用于电化学机械抛光的抛光部件 [P]. 
P·D·巴特菲尔德 ;
L-Y·陈 ;
Y·胡 ;
A·P·曼那斯 ;
R·马伍利乌 ;
S·D·蔡 ;
F·Q·刘 ;
R·威登斯维勒 .
中国专利 :CN2796944Y ,2006-07-19
[22]
一种用于电化学机械抛光的抛光部件 [P]. 
P·D·巴特菲尔德 ;
L-Y·陈 ;
Y·胡 ;
A·P·曼那斯 ;
R·马伍利乌 ;
S·D·蔡 ;
F·Q·刘 ;
R·威登斯维勒 .
中国专利 :CN2730553Y ,2005-10-05
[23]
电化学机械抛光控制方法及装置 [P]. 
汪以祥 ;
廖磊华 ;
郭称发 .
中国专利 :CN118531488B ,2025-02-21
[24]
电化学机械抛光控制方法及装置 [P]. 
汪以祥 ;
廖磊华 ;
郭称发 .
中国专利 :CN118531488A ,2024-08-23
[25]
一种电化学机械抛光机 [P]. 
许文虎 ;
钟敏 ;
吴品杰 .
中国专利 :CN111515852A ,2020-08-11
[26]
一种电化学机械抛光机 [P]. 
张跃锋 .
中国专利 :CN222226635U ,2024-12-24
[27]
一种电化学机械抛光机 [P]. 
许文虎 ;
钟敏 ;
吴品杰 .
中国专利 :CN212794514U ,2021-03-26
[28]
一种电化学机械抛光装置及方法 [P]. 
梁小生 ;
彭云峰 ;
吴秀榕 ;
贺湘波 ;
万泓毅 ;
秦村 ;
彭冉 .
中国专利 :CN118143853A ,2024-06-07
[29]
电化学机械抛光工艺、装置及生产线体 [P]. 
左晓磊 ;
杨亮 ;
王磊 ;
潘宏明 ;
张康 .
中国专利 :CN118848806A ,2024-10-29
[30]
一种无液电化学研磨/电化学机械抛光的方法 [P]. 
吴頔 .
中国专利 :CN117754365A ,2024-03-26
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