一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910546739.5

申请日：

2019-06-24

公开(公告)号：

CN110587387A

公开(公告)日：

2019-12-20

发明(设计)人：

许文虎程远瑶钟敏袁任江蒋建中

申请人：

申请人地址：

330000 江西省南昌市东湖区红谷滩新区学府大道999号

IPC主分类号：

B24B104

IPC分类号：

B24B3711 B24B3734 B24B4722 B24B5702

代理机构：

南昌青远专利代理事务所(普通合伙) 36123

代理人：

刘爱芳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 1/04 申请日:20190624
2019-12-20	公开	公开

共 50 条

[41]

一种半导体硅片电化学机械抛光装置及抛光方法 [P].

顾晓冬 ;

郑燕娜 ;

顾晓雯 .

中国专利 :CN119501794A ,2025-02-25

[42]

电化学机械抛光装置及包括其的晶圆加工设备 [P].

吴大亮 ;

孙新颖 .

中国专利 :CN119388317A ,2025-02-07

[43]

一种蓝宝石衬底的高效混合磨料化学机械抛光液 [P].

张振宇 ;

谢文祥 ;

陈宇 ;

郜培丽 ;

苏宏久 ;

王树东 .

中国专利 :CN110511679A ,2019-11-29

[44]

一种织构辅助的电化学机械抛光装置 [P].

梁小生 ;

彭云峰 ;

彭冉 ;

贺湘波 ;

万泓毅 .

中国专利 :CN222818615U ,2025-05-02

[45]

一种蓝宝石化学机械抛光液 [P].

徐志国 .

中国专利 :CN107011804A ,2017-08-04

[46]

一种碳化硅晶片电化学机械抛光方法 [P].

吴润泽 ;

王磊 ;

金洙吉 ;

张广宇 ;

刘泽元 ;

申烔源 .

中国专利 :CN114654380A ,2022-06-24

[47]

一种碳化硅晶圆电化学机械抛光装置 [P].

阚开乐 ;

张茂亮 .

中国专利 :CN121156904A ,2025-12-19

[48]

用于电化学机械抛光的导电抛光用品 [P].

Y·胡 ;

Y·王 ;

A·迪布斯特 ;

F·Q·刘 ;

R·马夫列夫 ;

L－Y·陈 ;

R·莫拉德 ;

S·索梅克 .

中国专利 :CN1458671A ,2003-11-26

[49]

一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液及其应用 [P].

张泽芳 ;

刘卫丽 ;

宋志棠 .

中国专利 :CN102585705B ,2012-07-18

[50]

化学机械抛光装置和化学机械抛光方法 [P].

铃木三惠子 ;

土屋泰章 .

中国专利 :CN1098746C ,1999-09-01

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