一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910546739.5

申请日：

2019-06-24

公开(公告)号：

CN110587387A

公开(公告)日：

2019-12-20

发明(设计)人：

许文虎程远瑶钟敏袁任江蒋建中

申请人：

申请人地址：

330000 江西省南昌市东湖区红谷滩新区学府大道999号

IPC主分类号：

B24B104

IPC分类号：

B24B3711 B24B3734 B24B4722 B24B5702

代理机构：

南昌青远专利代理事务所(普通合伙) 36123

代理人：

刘爱芳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 1/04 申请日:20190624
2019-12-20	公开	公开

共 50 条

[11]

一种电化学机械抛光设备 [P].

吴尚东 ;

史霄 ;

刘福强 ;

尹影 ;

李婷 .

中国专利 :CN119077609A ,2024-12-06

[12]

一种电化学机械抛光装置 [P].

左晓磊 ;

王磊 ;

张康 ;

刘永进 ;

李婷 .

中国专利 :CN117568908A ,2024-02-20

[13]

一种电化学机械抛光方法 [P].

杨亮 ;

王磊 ;

左晓磊 ;

张康 ;

李婷 .

中国专利 :CN117943966A ,2024-04-30

[14]

一种用于电化学机械抛光的抛光吸附盘机构及电化学机械抛光系统 [P].

朱自强 ;

杨渊思 .

中国专利 :CN120533612A ,2025-08-26

[15]

一种碳化硅晶片电化学机械抛光装置及工艺 [P].

刘贵昌 ;

朱柳泉 ;

孙文 ;

杨政清 ;

王立达 ;

陈煦 .

中国专利 :CN120461315A ,2025-08-12

[16]

一种电化学机械抛光及平坦化装置 [P].

顾海洋 ;

时泽健 ;

朱政挺 ;

朱自强 ;

杨渊思 .

中国专利 :CN120206393A ,2025-06-27

[17]

一种碳化硅衬底电化学机械抛光方法 [P].

杨亮 ;

蔡长益 ;

潘宏明 ;

左晓磊 ;

成晓畅 ;

李正仁 .

中国专利 :CN120533608A ,2025-08-26

[18]

一种电化学机械抛光及平坦化装置 [P].

顾海洋 ;

时泽健 ;

朱政挺 ;

朱自强 ;

杨渊思 .

中国专利 :CN222843823U ,2025-05-09

[19]

一种用于电化学机械抛光的抛光部件 [P].

P·D·巴特菲尔德 ;

L-Y·陈 ;

Y·胡 ;

A·P·曼那斯 ;

R·马伍利乌 ;

S·D·蔡 ;

F·Q·刘 ;

R·威登斯维勒 .

中国专利 :CN200970715Y ,2007-11-07

[20]

一种电化学机械抛光头及抛光装置 [P].

王子睿 ;

王永光 ;

刘庆升 ;

丁钊 ;

朱睿 ;

成锋 ;

师晓曼 ;

彭超 .

中国专利 :CN116423384B ,2024-06-21

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