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一种电化学机械抛光机

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020874855.8
申请日：
2020-05-22
公开(公告)号：
CN212794514U
公开(公告)日：
2021-03-26
发明(设计)人：
许文虎 钟敏 吴品杰
申请人：
申请人地址：
330000 江西省南昌市东湖区红谷滩新区学府大道999号
IPC主分类号：
B24B3710
IPC分类号：
B24B3734 B24B4720 B24B5702 H01L21304
代理机构：
南昌青远专利代理事务所(普通合伙) 36123
代理人：
唐棉棉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-03-26 授权 授权
共 50 条
[1]
一种电化学机械抛光机 [P]. 
许文虎 ;
钟敏 ;
吴品杰 .
中国专利 :CN111515852A ,2020-08-11
[2]
一种电化学机械抛光机 [P]. 
张跃锋 .
中国专利 :CN222226635U ,2024-12-24
[3]
电化学机械抛光装置 [P]. 
倪建明 .
中国专利 :CN105710761A ,2016-06-29
[4]
一种电化学机械抛光装置 [P]. 
左晓磊 ;
王磊 ;
张康 ;
刘永进 ;
李婷 .
中国专利 :CN117568908A ,2024-02-20
[5]
一种电化学机械抛光方法 [P]. 
杨亮 ;
王磊 ;
左晓磊 ;
张康 ;
李婷 .
中国专利 :CN117943966A ,2024-04-30
[6]
一种电化学机械抛光设备 [P]. 
吴尚东 ;
史霄 ;
刘福强 ;
尹影 ;
李婷 .
中国专利 :CN119077609A ,2024-12-06
[7]
一种电化学机械抛光及平坦化装置 [P]. 
顾海洋 ;
时泽健 ;
朱政挺 ;
朱自强 ;
杨渊思 .
中国专利 :CN222843823U ,2025-05-09
[8]
一种用于电化学机械抛光的抛光部件 [P]. 
P·D·巴特菲尔德 ;
L-Y·陈 ;
Y·胡 ;
A·P·曼那斯 ;
R·马伍利乌 ;
S·D·蔡 ;
F·Q·刘 ;
R·威登斯维勒 .
中国专利 :CN200970715Y ,2007-11-07
[9]
一种用于电化学机械抛光的抛光部件 [P]. 
P·D·巴特菲尔德 ;
L-Y·陈 ;
Y·胡 ;
A·P·曼那斯 ;
R·马伍利乌 ;
S·D·蔡 ;
F·Q·刘 ;
R·威登斯维勒 .
中国专利 :CN2796944Y ,2006-07-19
[10]
一种用于电化学机械抛光的抛光部件 [P]. 
P·D·巴特菲尔德 ;
L-Y·陈 ;
Y·胡 ;
A·P·曼那斯 ;
R·马伍利乌 ;
S·D·蔡 ;
F·Q·刘 ;
R·威登斯维勒 .
中国专利 :CN2730553Y ,2005-10-05
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