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VDMOS器件的制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610127722.2
申请日：
2016-03-07
公开(公告)号：
CN107170682A
公开(公告)日：
2017-09-15
发明(设计)人：
赵圣哲
申请人：
申请人地址：
100871 北京市海淀区成府路298号中关村方正大厦9层
IPC主分类号：
H01L21336
IPC分类号：
H01L29423
H01L2910
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
陶敏;黄健
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-09-15 | 公开 | 公开 |
| 2020-07-17 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/336 申请公布日:20170915 |
| 2017-10-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20160307 |