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真空处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080042799.4
申请日：
2020-03-11
公开(公告)号：
CN113994021A
公开(公告)日：
2022-01-28
发明(设计)人：
田代征仁
杉山成
申请人：
申请人地址：
日本神奈川县茅崎市荻园2500番地
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
B25J906
代理机构：
北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015
代理人：
齐永红;秦岩
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-28 | 公开 | 公开 |
| 2022-02-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20200311 |