金属栅极形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810113991.9

申请日：

2008-05-30

公开(公告)号：

CN101593686B

公开(公告)日：

2009-12-02

发明(设计)人：

郑春生杨瑞鹏

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号

IPC主分类号：

H01L2128

IPC分类号：

H01L21336

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-10-05	授权	授权
2009-12-02	公开	公开
2010-01-27	实质审查的生效	实质审查的生效
2020-05-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/28 申请日:20080530 授权公告日:20111005 终止日期:20190530

共 50 条

[1]

金属栅极形成方法 [P].

郑春生 .

中国专利 :CN102779746A ,2012-11-14

[2]

金属栅极的形成方法 [P].

蒋莉 ;

黎铭琦 ;

朱普磊 .

中国专利 :CN104810267A ,2015-07-29

[3]

金属栅极的形成方法 [P].

陈枫 ;

刘焕新 .

中国专利 :CN102637586A ,2012-08-15

[4]

金属栅极的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104752176B ,2015-07-01

[5]

金属栅极的形成方法 [P].

韩秋华 .

中国专利 :CN104616980B ,2017-11-28

[6]

金属栅极的形成方法 [P].

禹国宾 .

中国专利 :CN103794482A ,2014-05-14

[7]

金属栅极的形成方法 [P].

何其暘 ;

李凤莲 .

中国专利 :CN104752185B ,2015-07-01

[8]

金属栅极的形成方法 [P].

韩秋华 ;

李凤莲 .

中国专利 :CN104616981A ,2015-05-13

[9]

金属栅极的形成方法 [P].

邵群 .

中国专利 :CN102760653B ,2012-10-31

[10]

金属栅极的形成方法 [P].

蒋莉 .

中国专利 :CN102543702A ,2012-07-04

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