蚀刻液、添加剂及金属布线的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010090863.8

申请日：

2020-02-13

公开(公告)号：

CN111155091A

公开(公告)日：

2020-05-15

发明(设计)人：

吴豪旭张月红

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

C23F126 C23F102

代理机构：

深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570

代理人：

远明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20200213
2022-01-14	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23F 1/18 申请公布日:20200515
2020-05-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种酸性蚀刻液添加剂及酸性蚀刻液 [P].

侯延辉 .

中国专利 :CN107747094B ,2018-03-02

[2]

铜蚀刻液添加剂以及铜蚀刻液的生成方法 [P].

武岳 ;

周佑联 ;

周志超 .

中国专利 :CN105862040A ,2016-08-17

[3]

添加剂、添加剂分散液、蚀刻原料单元、添加剂供给装置、蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

村上友佳子 ;

平川雅章 ;

植松育生 .

中国专利 :CN110904503B ,2020-03-24

[4]

健康的食品添加剂制作方法 [P].

杨彩梅 .

中国专利 :CN107467659A ,2017-12-15

[5]

低成本的食品添加剂制作方法 [P].

杨彩梅 .

中国专利 :CN107568451A ,2018-01-12

[6]

铜蚀刻液用添加剂 [P].

H·W·理查森 ;

C·F·佐当 .

中国专利 :CN1130408A ,1996-09-04

[7]

蚀刻液添加剂、蚀刻液及其应用、蚀刻工艺 [P].

郁操 ;

董刚强 .

中国专利 :CN115161641B ,2024-06-11

[8]

蚀刻液和铜/钼金属线的蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN113106454A ,2021-07-13

[9]

酸性蚀刻液电解多组分添加剂 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN104152944A ,2014-11-19

[10]

蚀刻液组合物及铜钼膜层的蚀刻方法 [P].

吴豪旭 .

中国专利 :CN111074278A ,2020-04-28

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