一种掩模版保护膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110836788.X

申请日：

2021-07-23

公开(公告)号：

CN113534603A

公开(公告)日：

2021-10-22

发明(设计)人：

潘国军

申请人：

申请人地址：

213001 江苏省常州市新北区汉江路120号

IPC主分类号：

G03F162

IPC分类号：

C09J402

代理机构：

北京锦信诚泰知识产权代理有限公司 11813

代理人：

倪青华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/62 申请日:20210723
2021-10-22	公开	公开

共 50 条

[1]

掩模版保护膜的撬膜装置 [P].

张闯 ;

严江伟 .

中国专利 :CN210864315U ,2020-06-26

[2]

为掩模版贴附保护膜的装置 [P].

黄执祥 ;

侯广杰 .

中国专利 :CN202494859U ,2012-10-17

[3]

掩模版保护膜结构及掩模结构 [P].

李德建 .

中国专利 :CN221125081U ,2024-06-11

[4]

掩模版吸收层制备方法、掩模版及其制备方法 [P].

罗先刚 ;

程官于行 ;

高平 ;

赵博文 ;

张涛 ;

郑博明 ;

赵泽宇 ;

王长涛 .

中国专利 :CN119805851B ,2025-12-12

[5]

掩模版吸收层制备方法、掩模版及其制备方法 [P].

罗先刚 ;

高平 ;

程官于行 ;

赵博文 ;

张涛 ;

郑博明 ;

赵泽宇 ;

王长涛 .

中国专利 :CN119882342A ,2025-04-25

[6]

掩模版吸收层制备方法、掩模版及其制备方法 [P].

罗先刚 ;

程官于行 ;

高平 ;

赵博文 ;

张涛 ;

郑博明 ;

赵泽宇 ;

王长涛 .

中国专利 :CN119805851A ,2025-04-11

[7]

掩模版及其制备方法 [P].

罗先刚 ;

赵博文 ;

高平 ;

张涛 ;

尹邦超 ;

徐建东 ;

程官于行 .

中国专利 :CN120255265A ,2025-07-04

[8]

掩模保护膜去除装置及其方法 [P].

田明静 .

中国专利 :CN101105634A ,2008-01-16

[9]

具有保护膜结构的掩模版 [P].

苏佩 .

中国专利 :CN223087887U ,2025-07-11

[10]

光掩模保护膜的安装方法和光掩模保护膜框架 [P].

侯鑫 .

中国专利 :CN102253610A ,2011-11-23

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