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用于处理基板的设备和方法

被引：0
申请号：
CN202111612795.8
申请日：
2021-12-27
公开(公告)号：
CN114695190A
公开(公告)日：
2022-07-01
发明(设计)人：
林义相 李龙熙
申请人：
申请人地址：
韩国忠清南道
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2102 F26B300 F26B906 F26B2300
代理机构：
北京市中伦律师事务所 11410
代理人：
钟锦舜;刘烽
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-07-01 公开 公开
2022-07-19 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20211227
共 50 条
[1]
用于处理基板的设备和方法 [P]. 
林义相 ;
李龙熙 .
韩国专利 :CN114695190B ,2025-12-05
[2]
用于处理基板的设备和用于处理基板的方法 [P]. 
姜虎信 ;
徐泰雄 ;
赵诚敏 .
中国专利 :CN114429899A ,2022-05-03
[3]
基板处理设备和用于基板处理设备的控制方法 [P]. 
津贺尾圭祐 ;
泷本雄二 .
日本专利 :CN117855087A ,2024-04-09
[4]
用于处理基板的设备和方法 [P]. 
崔镇雨 ;
李章熙 ;
朴永鹤 ;
吴承俊 ;
徐安娜 .
中国专利 :CN115547802A ,2022-12-30
[5]
用于处理基板的设备和方法 [P]. 
李恒林 ;
金旼永 ;
朴志焄 .
中国专利 :CN113764308A ,2021-12-07
[6]
基板处理设备和用于基板处理设备的方法 [P]. 
崔炳斗 ;
崔晋镐 .
中国专利 :CN114695196A ,2022-07-01
[7]
用于处理基板的设备和用于处理基板的方法 [P]. 
金东勋 ;
朴玩哉 ;
李城吉 ;
李知桓 ;
严永堤 ;
吴东燮 ;
卢明燮 .
中国专利 :CN113410162A ,2021-09-17
[8]
用于处理基板的设备和用于处理基板的方法 [P]. 
龙秀彬 ;
朴珉贞 .
韩国专利 :CN118276410A ,2024-07-02
[9]
用于处理基板的设备和用于处理基板的方法 [P]. 
金东勋 ;
朴玩哉 ;
李城吉 ;
李知桓 ;
严永堤 ;
吴东燮 ;
卢明燮 .
韩国专利 :CN113410162B ,2024-11-15
[10]
基板处理设备和基板处理方法 [P]. 
金基峰 ;
吴承勋 ;
李暎熏 .
韩国专利 :CN118263151A ,2024-06-28
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