共 50 条
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用于处理基板的设备和用于处理基板的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310781239.6
申请日：
2023-06-28
公开(公告)号：
CN118276410A
公开(公告)日：
2024-07-02
发明(设计)人：
龙秀彬
朴珉贞
申请人：
细美事有限公司
申请人地址：
韩国忠清南道
IPC主分类号：
G03F7/16
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
北京市中伦律师事务所 11410
代理人：
钟锦舜;张玫
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-07-02 | 公开 | 公开 |
| 2025-10-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/16申请日:20230628 |