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基板处理设备和用于基板处理设备的方法
被引：0
申请号：
CN202111651003.8
申请日：
2021-12-30
公开(公告)号：
CN114695196A
公开(公告)日：
2022-07-01
发明(设计)人：
崔炳斗
崔晋镐
申请人：
申请人地址：
韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：
张凯
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20211230 |
| 2022-07-01 | 公开 | 公开 |