制造GaN或AlGaN晶体的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200580043154.8
申请日
2005-10-17
公开(公告)号
CN101080516B
公开(公告)日
2007-11-28
发明(设计)人
阿明·戴德加 阿洛伊斯·克罗斯特
申请人
申请人地址
德国马格德堡
IPC主分类号
C30B2300
IPC分类号
C30B2302
代理机构
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人
宋莉;贾静环
法律状态
专利权的终止
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
GaN晶体及GaN晶体的制造方法 [P]. 
矶宪司 ;
尾谷卓史 ;
大岛祐一 .
日本专利 :CN119923494A ,2025-05-02
[2]
GaN晶体的制造方法、GaN晶体、GaN晶体基板、半导体装置及GaN晶体制造装置 [P]. 
森勇介 ;
佐佐木孝友 ;
川村史朗 ;
吉村政志 ;
川原实 ;
北冈康夫 ;
森下昌纪 .
中国专利 :CN101583745B ,2009-11-18
[3]
块状GaN晶体、c面GaN晶片及块状GaN晶体的制造方法 [P]. 
三川豊 ;
冈野哲雄 .
日本专利 :CN114026274B ,2024-11-12
[4]
块状GaN晶体、c面GaN晶片及块状GaN晶体的制造方法 [P]. 
三川豊 ;
冈野哲雄 .
中国专利 :CN114026274A ,2022-02-08
[5]
GaN晶体衬底及其制造方法 [P]. 
田中仁子 .
中国专利 :CN102492992A ,2012-06-13
[6]
生长GaN晶体的方法和GaN晶体衬底 [P]. 
藤原伸介 ;
上松康二 ;
长田英树 .
中国专利 :CN103124811A ,2013-05-29
[7]
生长GaN晶体衬底的方法和GaN晶体衬底 [P]. 
柴田真佐知 ;
黑田尚孝 .
中国专利 :CN1249780C ,2002-11-06
[8]
GaN晶体的生长方法及GaN晶体衬底 [P]. 
松本直树 ;
佐藤史隆 ;
中畑成二 ;
冈久拓司 ;
上松康二 .
中国专利 :CN101319402A ,2008-12-10
[9]
具有AlGaN/GaN异质结的横向晶体管及其制作方法 [P]. 
段宝兴 ;
王彦东 ;
黄芸佳 ;
杨银堂 .
中国专利 :CN109888009B ,2019-06-14
[10]
生长GaN晶体的方法 [P]. 
上松康二 ;
吉田浩章 ;
森下昌纪 ;
藤原伸介 .
中国专利 :CN102099896A ,2011-06-15