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温度调节方法、温度调节装置和半导体工艺设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111306106.0
申请日：
2021-11-05
公开(公告)号：
CN114020069B
公开(公告)日：
2022-02-08
发明(设计)人：
许利利
宋鹏飞
申请人：
申请人地址：
100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
G05D2322
IPC分类号：
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
彭瑞欣;王婷
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 23/22 申请日:20211105 |
| 2022-12-09 | 授权 | 授权 |
| 2022-02-08 | 公开 | 公开 |