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同轴调节装置和半导体工艺设备

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422868270.6
申请日：
2024-11-22
公开(公告)号：
CN223665411U
公开(公告)日：
2025-12-12
发明(设计)人：
徐珂浩 郭士选 郭春 郭子煜 张辉 马恩泽
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01J37/32
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
彭瑞欣;王婷
法律状态：
授权
国省代码：
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-12-12 授权 授权
共 50 条
[1]
调节装置和半导体工艺设备 [P]. 
郑夫文 .
中国专利 :CN120020272A ,2025-05-20
[2]
温度调节装置及半导体工艺设备 [P]. 
胡晨宇 ;
王立卡 .
中国专利 :CN222617625U ,2025-03-14
[3]
用于半导体工艺设备的阻抗调节装置及半导体工艺设备 [P]. 
冯家玉 ;
孟亮 ;
张赛谦 ;
郭东 ;
王佳航 .
中国专利 :CN119685805A ,2025-03-25
[4]
半导体工艺设备的冷却装置和半导体工艺设备 [P]. 
方洋 ;
张波 ;
郭艺华 .
中国专利 :CN118099021A ,2024-05-28
[5]
卡盘装置和半导体工艺设备 [P]. 
李苗苗 ;
刘佳磊 ;
郭子杨 .
中国专利 :CN221041093U ,2024-05-28
[6]
半导体工艺设备用排水装置和半导体工艺设备 [P]. 
陈振伟 ;
石磊 .
中国专利 :CN114216350A ,2022-03-22
[7]
调节装置、红外测温装置以及半导体工艺设备 [P]. 
安志强 .
中国专利 :CN222733691U ,2025-04-08
[8]
检测装置和半导体工艺设备 [P]. 
王明伟 .
中国专利 :CN220934021U ,2024-05-10
[9]
加热装置和半导体工艺设备 [P]. 
张珊珊 ;
刘红丽 .
中国专利 :CN222734938U ,2025-04-08
[10]
温度调节方法、温度调节装置和半导体工艺设备 [P]. 
许利利 ;
宋鹏飞 .
中国专利 :CN114020069B ,2022-02-08
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