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激光加工装置及激光加工方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980071652.5
申请日：
2019-10-30
公开(公告)号：
CN113039038A
公开(公告)日：
2021-06-25
发明(设计)人：
坂本刚志
是松克洋
申请人：
申请人地址：
日本静冈县
IPC主分类号：
B23K2653
IPC分类号：
H01L21301
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
杨琦;黄浩
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B23K 26/53 申请日:20191030 |
| 2021-06-25 | 公开 | 公开 |