共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
激光加工装置及激光加工方法
被引：0
申请号：
CN202180011344.0
申请日：
2021-01-18
公开(公告)号：
CN115039204A
公开(公告)日：
2022-09-09
发明(设计)人：
是松克洋
坂本刚志
申请人：
申请人地址：
日本静冈县
IPC主分类号：
H01L21304
IPC分类号：
B23K2608
B23K2653
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
杨琦;黄浩
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-09 | 公开 | 公开 |
| 2022-09-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20210118 |