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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2005-08-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2007-11-07 | 发明专利说明书更正 | 发明专利说明书更正更正 卷:23 号:28 页码:扉页 更正项目:发明人 误:刘藤佳代子 正:齐藤佳代子 |
| 2012-08-08 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101308309951 IPC(主分类):H01L 27/02 专利号:ZL031424384 申请日:20030609 授权公告日:20070711 终止日期:20110609 |
| 2007-07-11 | 授权 | 授权 |
| 2004-01-14 | 公开 | 公开 |