一种离子束刻蚀系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710680517.3

申请日：

2017-08-10

公开(公告)号：

CN107610994A

公开(公告)日：

2018-01-19

发明(设计)人：

李娜胡冬冬刘训春许开东

申请人：

申请人地址：

221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号

IPC主分类号：

H01J3730

IPC分类号：

H01J37305 H01J3702

代理机构：

北京得信知识产权代理有限公司 11511

代理人：

袁伟东;阿苏娜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/30 申请日:20170810
2018-01-19	公开	公开
2019-06-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种离子束刻蚀系统和离子束刻蚀方法 [P].

闫奎呈 ;

陈龙保 ;

刘海洋 ;

郭颂 ;

程实然 ;

胡冬冬 ;

石小丽 ;

许开东 .

中国专利 :CN117524821A ,2024-02-06

[2]

一种离子束刻蚀系统 [P].

胡冬冬 ;

李娜 ;

许开东 ;

邱勇 ;

车东晨 ;

陈璐 ;

陈兆超 .

中国专利 :CN109935513B ,2019-06-25

[3]

一种离子束刻蚀方法以及离子束刻蚀设备 [P].

蔡金东 ;

费跃 ;

刘子仪 ;

陈思奇 ;

范文轩 ;

全雪 ;

王焕焕 ;

葛斌 .

中国专利 :CN117954313A ,2024-04-30

[4]

离子束刻蚀机 [P].

王长梗 .

中国专利 :CN305928894S ,2020-07-17

[5]

离子束刻蚀机 [P].

佘鹏程 ;

陈庆广 ;

刘欣 ;

廖焕金 .

中国专利 :CN303551739S ,2016-01-13

[6]

离子束刻蚀设备 [P].

邓家乐 ;

巩小亮 ;

佘鹏程 ;

巴赛 ;

胡志坤 ;

石磊 ;

李彦斌 ;

何秋福 .

中国专利 :CN308913418S ,2024-10-29

[7]

离子束刻蚀方法 [P].

胡咏兵 .

中国专利 :CN119890037A ,2025-04-25

[8]

离子束刻蚀系统以及装置 [P].

赵家琦 ;

苏晓磊 ;

李屹 .

中国专利 :CN223193754U ,2025-08-05

[9]

一种离子束刻蚀设备 [P].

胡凡 ;

彭立波 ;

佘鹏程 ;

龚俊 ;

陈特超 ;

程文进 ;

范江华 .

中国专利 :CN109524285B ,2019-03-26

[10]

一种离子束刻蚀控制系统 [P].

张海飞 ;

李正磊 ;

陈勇 .

中国专利 :CN223123386U ,2025-07-18

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