喷头及包括该喷头的基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980088841.3

申请日：

2019-12-03

公开(公告)号：

CN113302729A

公开(公告)日：

2021-08-24

发明(设计)人：

禹览金起范金在虹李佶帝李柱荣河闰圭

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

北京弘权知识产权代理有限公司 11363

代理人：

许伟群;李少丹

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20191203
2021-08-24	公开	公开

共 50 条

[1]

喷头及包括该喷头的基板处理装置 [P].

禹览 ;

金起范 ;

金在虹 ;

李佶帝 ;

李柱荣 ;

河闰圭 .

韩国专利 :CN113302729B ,2024-07-09

[2]

喷头及包括该喷头的基板处理装置 [P].

徐东源 ;

金相烨 ;

柳熙城 ;

李白朱 ;

赵铉喆 ;

千珉镐 ;

韩必熙 .

韩国专利 :CN118318065A ,2024-07-09

[3]

喷头和包括该喷头的衬底处理装置 [P].

高亨植 .

韩国专利 :CN117766368A ,2024-03-26

[4]

具有冷却系统的喷头及具备该喷头的基板处理装置 [P].

梁日光 ;

宋炳奎 ;

金龙基 ;

金劲勋 ;

申良湜 .

中国专利 :CN104025258B ,2014-09-03

[5]

喷头组件以及包括其的基板处理装置 [P].

金星渊 ;

金镐翼 ;

曹仁圭 ;

朴埈奭 .

韩国专利 :CN120231021A ,2025-07-01

[6]

喷头和包括喷头的衬底处理装置 [P].

金堤镐 .

韩国专利 :CN120205347A ,2025-06-27

[7]

环形喷头及基板处理装置 [P].

深泽孝之 .

中国专利 :CN119411221A ,2025-02-11

[8]

基板处理装置、喷头清洗装置和喷头清洗方法 [P].

吴宗恩 ;

谢耀贤 .

中国专利 :CN108933092A ,2018-12-04

[9]

喷头组件以及基板处理装置 [P].

金宰焕 ;

朴玩哉 ;

李城吉 ;

丘峻宅 .

韩国专利 :CN120236970A ,2025-07-01

[10]

喷头组件以及基板处理装置 [P].

金星渊 ;

金镐翼 ;

曹仁圭 .

韩国专利 :CN119340183A ,2025-01-21

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