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等离子体处理方法和等离子体处理装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200510051178.X
申请日：
2005-03-02
公开(公告)号：
CN100375247C
公开(公告)日：
2005-09-07
发明(设计)人：
田原慈
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L213065
IPC分类号：
H01L21311 G03F742 H01J3732 H05H100
代理机构：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：
龙淳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2005-09-07 公开 公开
2005-11-02 实质审查的生效 实质审查的生效
2022-02-22 专利权的终止 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20050302 授权公告日:20080312 终止日期:20210302
2008-03-12 授权 授权
共 50 条
[1]
等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P]. 
舆水地盐 ;
山泽阳平 .
中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27
[2]
等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P]. 
岩田学 ;
中山博之 ;
增泽健二 ;
本田昌伸 .
中国专利 :CN101515545B ,2009-08-26
[3]
等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P]. 
松本直树 ;
舆水地盐 ;
舆石公 .
中国专利 :CN100446637C ,2006-10-04
[4]
等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P]. 
大矢欣伸 ;
田边明良 ;
安田吉纪 .
中国专利 :CN104599930A ,2015-05-06
[5]
等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P]. 
舆水地盐 ;
山泽阳平 .
中国专利 :CN101847558B ,2010-09-29
[6]
等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P]. 
进藤崇央 ;
冈本清一 ;
大友洋 ;
菊地贵伦 ;
松土龙夫 ;
森田靖 ;
佐久间隆 .
中国专利 :CN113936985A ,2022-01-14
[7]
等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P]. 
松本直树 ;
早川欣延 ;
花冈秀敏 ;
儿玉法明 ;
舆水地盐 ;
岩田学 ;
田中谕志 .
中国专利 :CN101047113A ,2007-10-03
[8]
等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P]. 
进藤崇央 ;
冈本清一 ;
大友洋 ;
菊地贵伦 ;
松土龙夫 ;
森田靖 ;
佐久间隆 .
日本专利 :CN113936985B ,2025-03-11
[9]
等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P]. 
松本直树 ;
舆水地盐 ;
早川欣延 ;
花冈秀敏 ;
岩田学 ;
田中谕志 .
中国专利 :CN101661863A ,2010-03-03
[10]
等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P]. 
松本直树 ;
舆水地盐 ;
早川欣延 ;
花冈秀敏 ;
岩田学 ;
田中谕志 .
中国专利 :CN101047114A ,2007-10-03
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