回收废光刻胶剥离剂的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580012366.3

申请日：

2015-07-10

公开(公告)号：

CN106062638A

公开(公告)日：

2016-10-26

发明(设计)人：

朴泰文郑大哲李东勋李佑然李贤浚金周永

申请人：

申请人地址：

韩国首尔

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

顾晋伟;苏虹

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-07	授权	授权
2016-10-26	公开	公开
2016-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101688773219 IPC(主分类):G03F 7/42 专利申请号:2015800123663 申请日:20150710

共 50 条

[1]

光刻胶剥离剂 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN104049476A ,2014-09-17

[2]

光刻胶剥离剂组合物 [P].

尹锡壹 ;

朴英雄 ;

吴昌一 ;

李相大 ;

柳终顺 .

中国专利 :CN1426544A ,2003-06-25

[3]

用于移除光刻胶的剥离剂组合物以及使用其剥离光刻胶的方法 [P].

朴泰文 ;

郑大哲 ;

李东勋 ;

李佑然 ;

李贤浚 ;

金周永 .

中国专利 :CN106662825B ,2017-05-10

[4]

用于移除光刻胶的剥离剂组合物以及使用其剥离光刻胶的方法 [P].

朴泰文 ;

郑大哲 ;

李东勋 ;

李佑然 ;

李贤浚 ;

金周永 .

中国专利 :CN106062637A ,2016-10-26

[5]

光刻胶剥离剂组合物和用该光刻胶剥离剂组合物剥离光刻胶的方法 [P].

韩熙 ;

朴珉春 ;

金璟晙 ;

徐圣佑 ;

权赫俊 ;

安庆昊 ;

崔棅圭 ;

闵盛晙 ;

黄智泳 .

中国专利 :CN101454872B ,2009-06-10

[6]

光刻胶废剥离液回收装置 [P].

王鸿岩 ;

孙浩 .

中国专利 :CN210974492U ,2020-07-10

[7]

光刻胶剥离剂组合物 [P].

王腾芳 ;

王勇军 .

中国专利 :CN111448520A ,2020-07-24

[8]

光刻胶剥离剂组合物 [P].

金玮溶 ;

尹锡一 ;

曹三永 ;

朴顺姬 ;

全雨植 .

中国专利 :CN1682155A ,2005-10-12

[9]

光刻胶剥离剂组合物 [P].

金圣培 ;

尹锡壹 ;

许舜范 ;

辛成健 ;

金柄郁 .

中国专利 :CN101140428A ,2008-03-12

[10]

光刻胶剥离剂废液回收系统及其方法 [P].

廖庭宽 .

中国专利 :CN102219272A ,2011-10-19

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