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一种晶圆盒内晶圆分离装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022138492.4
申请日：
2020-09-26
公开(公告)号：
CN212750825U
公开(公告)日：
2021-03-19
发明(设计)人：
钱诚
李刚
夏振
申请人：
申请人地址：
225300 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-19 | 授权 | 授权 |