共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
处理基板的装置和方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910257962.8
申请日：
2019-04-01
公开(公告)号：
CN110349824B
公开(公告)日：
2019-10-18
发明(设计)人：
金提镐
申请人：
申请人地址：
韩国忠淸南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：
申健
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-10-18 | 公开 | 公开 |
| 2019-11-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20190401 |
| 2022-01-11 | 授权 | 授权 |