被洗净基板的洗净方法及被洗净基板的洗净液供给装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110303742.8

申请日：

2009-10-09

公开(公告)号：

CN102360158B

公开(公告)日：

2012-02-22

发明(设计)人：

沼波恒夫

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F182

IPC分类号：

B08B310

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司 72003

代理人：

宋晓宝;郭晓东

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-04-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101217910417 IPC(主分类):G03F 1/00 专利申请号:2011103037428 申请日:20091009
2013-07-10	授权	授权
2012-02-22	公开	公开

共 50 条

[1]

掩模相关基板的洗净方法、洗净方法及洗净液供给装置 [P].

沼波恒夫 .

中国专利 :CN101716581A ,2010-06-02

[2]

基板洗净装置及基板洗净方法 [P].

泷本雄二 .

中国专利 :CN100543942C ,2008-10-08

[3]

基板洗净方法和基板洗净装置 [P].

吉原孝介 ;

吉田勇一 ;

山本太郎 .

中国专利 :CN101551602B ,2009-10-07

[4]

基板洗净方法和基板洗净装置 [P].

吉原孝介 ;

吉田勇一 ;

山本太郎 .

中国专利 :CN102654735B ,2012-09-05

[5]

基板洗净方法及洗净装置 [P].

水川茂 ;

中田胜利 ;

松元俊二 .

中国专利 :CN1455708A ,2003-11-12

[6]

洗净液组合物及基板的洗净方法 [P].

蔡宇杰 .

中国专利 :CN103361207A ,2013-10-23

[7]

洗净液组成物及基板的洗净方法 [P].

蔡宇杰 ;

谢依纯 .

中国专利 :CN102952653B ,2013-03-06

[8]

洗净液组合物及基板的洗净方法 [P].

蔡宇杰 .

中国专利 :CN103361206B ,2013-10-23

[9]

洗净液组成物及基板的洗净方法 [P].

蔡宇杰 ;

谢依纯 .

中国专利 :CN102787035B ,2012-11-21

[10]

基板洗净装置 [P].

高比良苇人 .

中国专利 :CN202217649U ,2012-05-09

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