基板洗净装置及基板洗净方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680037320.8

申请日：

2006-09-20

公开(公告)号：

CN100543942C

公开(公告)日：

2008-10-08

发明(设计)人：

泷本雄二

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

G02F113 B08B300

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

刘杰;刘宗杰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-10-08	公开	公开
2009-09-23	授权	授权
2008-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

基板洗净方法及洗净装置 [P].

水川茂 ;

中田胜利 ;

松元俊二 .

中国专利 :CN1455708A ,2003-11-12

[2]

基板洗净方法和基板洗净装置 [P].

吉原孝介 ;

吉田勇一 ;

山本太郎 .

中国专利 :CN101551602B ,2009-10-07

[3]

基板洗净方法和基板洗净装置 [P].

吉原孝介 ;

吉田勇一 ;

山本太郎 .

中国专利 :CN102654735B ,2012-09-05

[4]

被洗净基板的洗净方法及被洗净基板的洗净液供给装置 [P].

沼波恒夫 .

中国专利 :CN102360158B ,2012-02-22

[5]

基板洗净装置 [P].

高比良苇人 .

中国专利 :CN202217649U ,2012-05-09

[6]

掩模相关基板的洗净方法、洗净方法及洗净液供给装置 [P].

沼波恒夫 .

中国专利 :CN101716581A ,2010-06-02

[7]

玻璃基板的洗净装置 [P].

陈瑞钦 .

中国专利 :CN2790609Y ,2006-06-28

[8]

洗净装置及洗净方法 [P].

水户清 ;

太田胜久 ;

增冈真二 ;

浅田裕 .

中国专利 :CN1527749A ,2004-09-08

[9]

蔬菜洗净方法及蔬菜洗净装置 [P].

林文雄 ;

中村守男 .

中国专利 :CN101322576B ,2008-12-17

[10]

衬底洗净装置及衬底洗净方法 [P].

筱原智之 ;

石井淳一 ;

中村一树 ;

冈田吉文 ;

髙桥拓马 ;

筱原敬 ;

冲田展彬 .

中国专利 :CN115588628A ,2023-01-10

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