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基板洗净装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201120350989.0
申请日：
2011-09-09
公开(公告)号：
CN202217649U
公开(公告)日：
2012-05-09
发明(设计)人：
高比良苇人
申请人：
申请人地址：
日本埼玉
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
王成坤;胡建新
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-11-06 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101535924817 IPC(主分类):H01L 21/677 专利号:ZL2011203509890 申请日:20110909 授权公告日:20120509 终止日期:20120909 |
| 2012-05-09 | 授权 | 授权 |