基板洗净方法及洗净装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02800029.3

申请日：

2002-04-08

公开(公告)号：

CN1455708A

公开(公告)日：

2003-11-12

发明(设计)人：

水川茂中田胜利松元俊二

申请人：

申请人地址：

日本兵库县

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳;张英光

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-11-12	公开	公开
2012-06-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101272911708 IPC(主分类):B08B 3/12 专利号:ZL028000293 申请日:20020408 授权公告日:20051005 终止日期:20110408
2004-04-28	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-10-05	授权	授权

共 50 条

[1]

基板洗净装置及基板洗净方法 [P].

泷本雄二 .

中国专利 :CN100543942C ,2008-10-08

[2]

洗净装置及洗净方法 [P].

水户清 ;

太田胜久 ;

增冈真二 ;

浅田裕 .

中国专利 :CN1527749A ,2004-09-08

[3]

超声波洗净装置及超声波洗净系统 [P].

大畑桂辅 ;

坂元律之 .

中国专利 :CN210497445U ,2020-05-12

[4]

基板洗净方法和基板洗净装置 [P].

吉原孝介 ;

吉田勇一 ;

山本太郎 .

中国专利 :CN101551602B ,2009-10-07

[5]

基板洗净方法和基板洗净装置 [P].

吉原孝介 ;

吉田勇一 ;

山本太郎 .

中国专利 :CN102654735B ,2012-09-05

[6]

被洗净基板的洗净方法及被洗净基板的洗净液供给装置 [P].

沼波恒夫 .

中国专利 :CN102360158B ,2012-02-22

[7]

洗净液组合物及基板的洗净方法 [P].

蔡宇杰 .

中国专利 :CN103361207A ,2013-10-23

[8]

洗净液组成物及基板的洗净方法 [P].

蔡宇杰 ;

谢依纯 .

中国专利 :CN102952653B ,2013-03-06

[9]

洗净液组合物及基板的洗净方法 [P].

蔡宇杰 .

中国专利 :CN103361206B ,2013-10-23

[10]

洗净液组成物及基板的洗净方法 [P].

蔡宇杰 ;

谢依纯 .

中国专利 :CN102787035B ,2012-11-21

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