洗净装置及洗净方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02814099.0

申请日：

2002-07-12

公开(公告)号：

CN1527749A

公开(公告)日：

2004-09-08

发明(设计)人：

水户清太田胜久增冈真二浅田裕

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所

代理人：

侯佳猷

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-04-19	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2004-09-08	公开	公开
2004-11-10	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

基板洗净方法及洗净装置 [P].

水川茂 ;

中田胜利 ;

松元俊二 .

中国专利 :CN1455708A ,2003-11-12

[2]

洗净方法及此洗净方法所使用的洗净装置 [P].

鹈饲笃司 ;

尾崎健二 ;

前田南 .

中国专利 :CN107081303A ,2017-08-22

[3]

探针洗净装置 [P].

斋藤文一 ;

久保胜英 .

中国专利 :CN1535765A ,2004-10-13

[4]

掩蔽模的洗净方法及洗净装置 [P].

间部三千广 ;

中村浩一 .

中国专利 :CN1290620A ,2001-04-11

[5]

被洗净基板的洗净方法及被洗净基板的洗净液供给装置 [P].

沼波恒夫 .

中国专利 :CN102360158B ,2012-02-22

[6]

掩模相关基板的洗净方法、洗净方法及洗净液供给装置 [P].

沼波恒夫 .

中国专利 :CN101716581A ,2010-06-02

[7]

超声波洗净装置及超声波洗净系统 [P].

大畑桂辅 ;

坂元律之 .

中国专利 :CN210497445U ,2020-05-12

[8]

洗净处理装置及洗净处理方法 [P].

山本弘明 ;

田村孔一 ;

成行圭三 ;

亩森浩 .

中国专利 :CN103313674A ,2013-09-18

[9]

蔬菜洗净方法及蔬菜洗净装置 [P].

林文雄 ;

中村守男 .

中国专利 :CN101322576B ,2008-12-17

[10]

基板洗净装置及基板洗净方法 [P].

泷本雄二 .

中国专利 :CN100543942C ,2008-10-08

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