探针洗净装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410032493.3

申请日：

2004-04-08

公开(公告)号：

CN1535765A

公开(公告)日：

2004-10-13

发明(设计)人：

斋藤文一久保胜英

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B308

代理机构：

上海专利商标事务所

代理人：

谢喜堂

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/12 申请日:20040408 授权公告日:20061220 终止日期:20200408
2006-12-20	授权	授权
2004-12-29	实质审查的生效	实质审查的生效
2004-10-13	公开	公开

共 50 条

[1]

洗净装置及洗净方法 [P].

水户清 ;

太田胜久 ;

增冈真二 ;

浅田裕 .

中国专利 :CN1527749A ,2004-09-08

[2]

基板洗净方法及洗净装置 [P].

水川茂 ;

中田胜利 ;

松元俊二 .

中国专利 :CN1455708A ,2003-11-12

[3]

超声波洗净装置及超声波洗净系统 [P].

大畑桂辅 ;

坂元律之 .

中国专利 :CN210497445U ,2020-05-12

[4]

基板洗净方法和基板洗净装置 [P].

吉原孝介 ;

吉田勇一 ;

山本太郎 .

中国专利 :CN101551602B ,2009-10-07

[5]

基板洗净方法和基板洗净装置 [P].

吉原孝介 ;

吉田勇一 ;

山本太郎 .

中国专利 :CN102654735B ,2012-09-05

[6]

洗净方法及此洗净方法所使用的洗净装置 [P].

鹈饲笃司 ;

尾崎健二 ;

前田南 .

中国专利 :CN107081303A ,2017-08-22

[7]

基板洗净装置 [P].

高比良苇人 .

中国专利 :CN202217649U ,2012-05-09

[8]

工件洗净装置 [P].

平出正彦 ;

藤森和孝 .

中国专利 :CN1856371A ,2006-11-01

[9]

被洗净基板的洗净方法及被洗净基板的洗净液供给装置 [P].

沼波恒夫 .

中国专利 :CN102360158B ,2012-02-22

[10]

掩蔽模的洗净方法及洗净装置 [P].

间部三千广 ;

中村浩一 .

中国专利 :CN1290620A ,2001-04-11

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