一种低电阻温度系数、高电阻率氮化钽与钽多层膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410019262.2

申请日：

2014-01-16

公开(公告)号：

CN104789928A

公开(公告)日：

2015-07-22

发明(设计)人：

彭斌蒋中东张万里张文旭王磊

申请人：

申请人地址：

611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号

IPC主分类号：

C23C1414

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

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法律状态：

公开

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-22	公开	公开
2015-08-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101621065908 IPC(主分类):C23C 14/14 专利申请号:2014100192622 申请日:20140116
2018-01-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/14 申请公布日:20150722

共 50 条

[1]

低电阻率的钽 [P].

E·C·库尼三世 ;

C·E·乌佐 .

中国专利 :CN1290940A ,2001-04-11

[2]

一种可调控薄层电阻率的氮化钽薄膜的制备方法 [P].

唐云俊 ;

王昱翔 .

中国专利 :CN114574825A ,2022-06-03

[3]

低电阻率温度系数材料及其制备方法 [P].

蔺帅 ;

童鹏 ;

王铂森 ;

孙玉平 ;

戴建明 .

中国专利 :CN103214246A ,2013-07-24

[4]

一种高效氮化钽薄膜电阻及其制备方法 [P].

李海鸥 ;

牟凯瑞 ;

刘兴鹏 ;

杨曌 ;

沓世我 .

中国专利 :CN115020052A ,2022-09-06

[5]

可在线检测电阻率的钽薄膜制备装置 [P].

燕军祥 ;

宿非凡 ;

邓辉 ;

严凯 ;

荣皓 ;

张海斌 ;

曹思睿 ;

李渊 .

中国专利 :CN222294181U ,2025-01-03

[6]

一种高电阻率合金加热膜 [P].

吴金鹏 ;

蒋小勇 .

中国专利 :CN121038025A ,2025-11-28

[7]

一种高电阻率低B值负温度系数热敏电阻材料 [P].

骆颖 ;

李旭琼 ;

刘心宇 .

中国专利 :CN101693617B ,2010-04-14

[8]

一种大尺寸高电阻率钽酸镓镧晶体的制备方法 [P].

沈丽明 ;

王帅 ;

暴宁钟 ;

燕克兰 .

中国专利 :CN113106547B ,2021-07-13

[9]

一种变温下测量导体常温电阻率及电阻温度系数的方法 [P].

冯砚厅 ;

关巍 ;

徐雪霞 ;

王庆 ;

王勇 ;

陈二松 .

中国专利 :CN106093575A ,2016-11-09

[10]

一种低温度系数高电阻率热敏材料及其制备方法 [P].

陶明德 ;

唐本栋 ;

周军有 .

中国专利 :CN101618962A ,2010-01-06

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