一种晶圆双面清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921082272.5

申请日：

2019-07-11

公开(公告)号：

CN210279987U

公开(公告)日：

2020-04-10

发明(设计)人：

王孝军范亚飞

申请人：

申请人地址：

200000 上海市浦东新区鹿吉路353号1幢101室

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B308 B08B1300 F26B2100

代理机构：

上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292

代理人：

罗晓鹏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆双面清洗设备 [P].

李继忠 ;

李述周 .

中国专利 :CN119657540A ,2025-03-21

[2]

一种晶圆双面清洗装置 [P].

郭炳熙 ;

周铁军 ;

胡玉婷 ;

孙美玉 ;

田玉莲 .

中国专利 :CN220491844U ,2024-02-13

[3]

一种晶圆双面清洗装置 [P].

舒福璋 ;

石启鹏 ;

李伟 ;

尹影 .

中国专利 :CN222826392U ,2025-05-02

[4]

一种晶圆边缘清洗装置及晶圆清洗设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222720360U ,2025-04-04

[5]

晶圆清洗固定装置及晶圆清洗设备 [P].

王迪 ;

赵宏亮 ;

刘豫东 ;

刘建民 ;

边晓东 .

中国专利 :CN111293060A ,2020-06-16

[6]

晶圆背面清洗装置、晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

徐俊成 ;

刘福生 ;

刘效岩 ;

康凯祥 .

中国专利 :CN119426317A ,2025-02-14

[7]

一种晶圆清洗方法及晶圆清洗设备 [P].

江伟 ;

尹影 ;

庞浩 ;

徐俊成 .

中国专利 :CN111477537A ,2020-07-31

[8]

晶圆清洗设备 [P].

路新春 ;

沈攀 ;

何永勇 .

中国专利 :CN102768974A ,2012-11-07

[9]

一种晶圆清洗设备的双面清洗组件 [P].

霍建忠 ;

朱万杰 .

中国专利 :CN213212120U ,2021-05-14

[10]

一种晶圆双面自动清洗装置 [P].

王科峰 ;

朱谨超 ;

钟厅 .

中国专利 :CN220439565U ,2024-02-02

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