一种晶圆双面清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420803255.0

申请日：

2024-04-17

公开(公告)号：

CN222826392U

公开(公告)日：

2025-05-02

发明(设计)人：

舒福璋石启鹏李伟尹影

申请人：

北京晶亦精微科技股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

步文娟

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆双面清洗装置及清洗方法 [P].

舒福璋 ;

石启鹏 ;

李伟 ;

尹影 .

中国专利 :CN118156215A ,2024-06-07

[2]

一种晶圆双面自动清洗装置 [P].

王科峰 ;

朱谨超 ;

钟厅 .

中国专利 :CN220439565U ,2024-02-02

[3]

一种晶圆双面清洗装置 [P].

王孝军 ;

范亚飞 .

中国专利 :CN210279987U ,2020-04-10

[4]

一种晶圆双面清洗装置 [P].

郭炳熙 ;

周铁军 ;

胡玉婷 ;

孙美玉 ;

田玉莲 .

中国专利 :CN220491844U ,2024-02-13

[5]

一种晶圆清洗装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221841802U ,2024-10-15

[6]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

贺贤汉 ;

杉原一男 ;

佐藤泰幸 ;

原英樹 .

中国专利 :CN215844496U ,2022-02-18

[7]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203620984U ,2014-06-04

[8]

一种晶圆清洗毛刷及晶圆清洗装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221602607U ,2024-08-27

[9]

一种晶圆清洗台及晶圆清洗装置 [P].

兰升友 ;

徐瑞林 .

中国专利 :CN215613584U ,2022-01-25

[10]

晶圆双面清洗设备 [P].

吴镐硕 ;

朴灵绪 .

中国专利 :CN213988837U ,2021-08-17

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