接触孔的刻蚀方法及接触孔刻蚀结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010401268.1

申请日：

2020-05-13

公开(公告)号：

CN111653476A

公开(公告)日：

2020-09-11

发明(设计)人：

刘俊

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L21311

IPC分类号：

H01L21768 H01L23528

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

栾美洁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-11	公开	公开
2020-10-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/311 申请日:20200513

共 50 条

[1]

接触孔的刻蚀方法 [P].

施洋 .

中国专利 :CN107808822A ,2018-03-16

[2]

接触孔刻蚀方法 [P].

陈广龙 ;

张可钢 ;

陈昊瑜 .

中国专利 :CN102810463B ,2012-12-05

[3]

接触孔的刻蚀方法 [P].

王民涛 ;

李杰 ;

汪德文 ;

魏国栋 ;

刘玮 ;

杨坤进 .

中国专利 :CN103050438A ,2013-04-17

[4]

接触孔的刻蚀方法 [P].

黄敬勇 ;

张海洋 ;

何其暘 .

中国专利 :CN104701242A ,2015-06-10

[5]

接触孔的刻蚀工艺方法 [P].

梁金娥 ;

奚裴 ;

冯凯 ;

王函 ;

程刘锁 .

中国专利 :CN111128871B ,2020-05-08

[6]

接触孔的刻蚀方法 [P].

黄志刚 .

中国专利 :CN102403218A ,2012-04-04

[7]

接触孔刻蚀方法 [P].

李程 ;

吴敏 ;

杨渝书 .

中国专利 :CN103681477A ,2014-03-26

[8]

接触孔和接触孔的刻蚀方法 [P].

王新鹏 ;

张海洋 .

中国专利 :CN102097359A ,2011-06-15

[9]

接触孔的刻蚀方法 [P].

张文文 ;

丁佳 ;

王玉新 ;

陈志远 ;

张淑婷 .

中国专利 :CN118156220A ,2024-06-07

[10]

接触孔的刻蚀方法 [P].

吴敏 ;

杨渝书 ;

李程 .

中国专利 :CN103400799B ,2013-11-20

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