接触孔的刻蚀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310354603.7

申请日：

2013-08-14

公开(公告)号：

CN103400799B

公开(公告)日：

2013-11-20

发明(设计)人：

吴敏杨渝书李程

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L21311

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

陆花

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-30	授权	授权
2013-11-20	公开	公开
2013-12-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101551943199 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2013103546037 申请日:20130814

共 50 条

[1]

接触孔的刻蚀方法 [P].

张文文 ;

丁佳 ;

王玉新 ;

陈志远 ;

张淑婷 .

中国专利 :CN118156220A ,2024-06-07

[2]

接触孔和接触孔的刻蚀方法 [P].

王新鹏 ;

张海洋 .

中国专利 :CN102097359A ,2011-06-15

[3]

接触孔的刻蚀方法 [P].

黄敬勇 ;

张海洋 ;

何其暘 .

中国专利 :CN104701242A ,2015-06-10

[4]

接触孔的刻蚀方法 [P].

王民涛 ;

李杰 ;

汪德文 ;

魏国栋 ;

刘玮 ;

杨坤进 .

中国专利 :CN103050438A ,2013-04-17

[5]

接触孔的刻蚀方法 [P].

施洋 .

中国专利 :CN107808822A ,2018-03-16

[6]

接触孔刻蚀方法 [P].

李程 ;

吴敏 ;

杨渝书 .

中国专利 :CN103681477A ,2014-03-26

[7]

接触孔的刻蚀方法及接触孔刻蚀结构 [P].

刘俊 .

中国专利 :CN111653476A ,2020-09-11

[8]

扩大接触孔刻蚀工艺窗口的方法 [P].

卓红标 ;

刘春玲 .

中国专利 :CN115662947A ,2023-01-31

[9]

接触孔的刻蚀方法 [P].

黄志刚 .

中国专利 :CN102403218A ,2012-04-04

[10]

电容极板接触孔的刻蚀方法 [P].

马莉娜 ;

姚道州 ;

肖培 .

中国专利 :CN112635669A ,2021-04-09

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